Kemična parna sinteza borovega nitrida

Leta 1979 je Sokolowski uspešno uporabil tehnologijo pulzne plazme za pripravo filmov kubičnega borovega nitrida (CBN) pri nizki temperaturi in nizkem tlaku. Uporabljena oprema je enostavna in postopek enostavno izvedljiv, zato je bil hitro razvit. Pojavile so se različne metode odlaganja hlapov. Tradicionalno gledano se nanaša predvsem na termično kemijsko nanašanje hlapov. Eksperimentalna naprava je običajno sestavljena iz toplotno odporne kremenčeve cevi in ​​grelne naprave. Podlaga se lahko segreva s pečjo za ogrevanje (CVD s toplo steno) ali visokofrekvenčnim indukcijskim ogrevanjem (CVD s hladno steno). Reakcijski plin se razgradi na površini visokotemperaturne podlage, hkrati pa pride do kemične reakcije, ki naloži film. Reakcijski plin je mešani plin BCl₃ ali B₂H₄in NH₃.