Pirolitični borov nitrid ima pomembno vlogo v industriji polprevodnikov
Aug 22, 2023
Pirolitični borov nitrid (PBN) je zaradi svojih vrhunskih lastnosti igral ključno vlogo v industriji polprevodnikov. PBN je odličen toplotni prevodnik, stabilen pri visokih temperaturah in ima nizko dielektrično izgubo. Zaradi teh lastnosti je idealen material za različne kritične aplikacije v industriji polprevodnikov.
Prvič, PBN se uporablja pri proizvodnji epitaksialnih rezin. PBN čolni olajšajo rast epitaksialnih plasti z zagotavljanjem stabilne platforme za podlago, ki lahko prenese visoke temperature in ohranja čisto okolje. PBN ima tudi odlično toplotno stabilnost in kemično odpornost, kar zmanjšuje kontaminacijo epitaksialnih plasti med rastjo.
Drugič, PBN se uporablja za izdelavo silicijevih rezin. PBN lončki se uporabljajo za taljenje in kristalizacijo silicija, ki je izhodiščni material za proizvodnjo silicijevih rezin. Ti lončki lahko prenesejo visoke temperaturne gradiente in zmanjšajo tveganje kontaminacije med procesom taljenja.
Poleg tega se PBN uporablja tudi pri proizvodnji visoko zmogljivih tranzistorjev. Substrati na osnovi PBN zagotavljajo stabilno in čisto platformo za izdelavo visokokakovostnih tranzistorjev. Substrati PBN lahko tudi izboljšajo delovanje tranzistorjev z zmanjšanjem parazitske kapacitivnosti in povečanjem toplotne prevodnosti.
Na splošno je PBN igral ključno vlogo pri razvoju industrije polprevodnikov. Njegove vrhunske lastnosti so omogočile izdelavo visokokakovostnih epitaksialnih plasti, silicijevih rezin in visoko zmogljivih tranzistorjev. Ker povpraševanje po naprednih polprevodnikih še naprej narašča, bo PBN nedvomno ostal ključni material v industriji v prihodnjih letih.
