KONZOLNA GOSPA IZ SILICIJOVEGA KARBIDA
Področja uporabe: V difuzijskih pečeh in visokotemperaturnih oksidacijskih difuzijskih pečeh, ki se uporabljajo v industriji proizvodnje polprevodnikov za izvajanje toplotne rasti in oksidacije silicijevih rezin, je konzolna lopatica ključni sestavni del sistema za polnjenje rezin, ki zagotavlja enakomernost rezin in cevi peči za več enakomerna difuzija in oksidacija. Za konzolne lopatice iz silicijevega karbida je značilna visoka trdnost, visoka čistost, visoka toplotna prevodnost, brez poroznosti, odpornost na kislinsko in alkalno korozijo, brez kontaminacije pri visokih temperaturah, dobra stabilnost pri toplotnem udaru in visoka nosilnost. V kombinaciji s koeficientom toplotnega raztezanja, ki je podoben kot pri prevlekah LPCVD, lahko uporaba konzolnih lopatic iz silicijevega karbida v LPCVD znatno podaljša cikle vzdrževalnega čiščenja in močno zmanjša kontaminacijo.
Opis
Ena glavnih prednosti suspenzije silicijevega karbida je njegova sposobnost zagotavljanja doslednih in enotnih rezultatov. Gnojnica je sposobna zagotoviti gladek zaključek in odlično kakovost površine, kar zagotavlja, da strojno obdelani deli nimajo prask, razpok ali drugih napak.
Druga prednost suspenzije silicijevega karbida je, da je okolju prijazna. Gnojnica ne vsebuje nobenih nevarnih spojin ali strupenih kemikalij, zaradi česar je varna za uporabo in odlaganje.
Poleg tega je suspenzijska kaša iz silicijevega karbida zelo stroškovno učinkovita, saj bistveno zmanjša izgubo materiala in čas obdelave. Gnojnica lahko odstrani material hitreje kot tradicionalne tehnike brušenja in poliranja, s čimer se poveča učinkovitost proizvodnega procesa.
